氦氣壓縮機是低溫泵體系或其他制冷單元的驅動單元，用于向低溫泵或其他制冷單元提供高純度氦氣。主要使用于半導體前道制程設備的蒸騰、濺射和離子注入的真空體系，同時在地理、航天、醫療等領域也有廣泛的使用。氦氣壓縮機能夠驅動不同尺寸的低溫泵,按照法蘭的口徑分成：8英寸、10英寸和16英寸，也能夠用于不同制造商生產的低溫泵。那么關于其保養也是非常重要的，下面大家一起來進行了解下吧。

　　1、每天保養。查看油位，查看空濾芯和冷卻劑液位，查看軟管和所有管接頭是否有走漏狀況，查看易耗件現已到了替換周期有必要停機予以替換，查看主機排氣溫度，到達或挨近98℃，有必要清洗油冷卻器查看分離器壓差，到達0.6 Bar以上或壓差開始有下降趨勢時應停機替換分離芯等。

　　2、每月保養。查看冷卻器，必要時予以清洗，查看所有電線銜接狀況并予以緊固，查看交流接觸器觸頭，清潔電機吸風口表面和殼體表面的灰塵，清洗回油過濾器，查看空氣壓縮機設定與運轉是否共同。

　　3、每季度保養。清潔主電機和電扇電機，替換油過濾芯，清潔冷卻器，檢小壓力閥、安全閥，查看傳感器。

　　4、每年保養。替換潤滑油及油氣分離器濾芯，替換空氣過濾器濾芯，油過濾器，安全閥校準，查看彈性聯軸器，查看冷卻電扇，清洗主動排污閥，彌補或替換電動機潤滑油脂。